數(shù)控機(jī)床幾何誤差和由溫度引起的誤差兩者共計約占機(jī)床總體誤差的的一半以上，其中幾何誤差相對穩(wěn)定，易于進(jìn)行誤差補(bǔ)償。普遍認(rèn)為數(shù)控機(jī)床的幾何誤差由以下五個原因原因引起的。

1、熱變形誤差：由于機(jī)床的內(nèi)部熱源和環(huán)境熱擾動導(dǎo)致機(jī)床的結(jié)構(gòu)熱變形而產(chǎn)生的誤差。

2、機(jī)床的控制系統(tǒng)誤差：包括機(jī)床軸系的伺服誤差（輪廓跟隨誤差），數(shù)控插補(bǔ)算法誤差。

3、機(jī)床的原始制造誤差：是指由組成機(jī)床各部件工作表面的幾何形狀、表面質(zhì)量、相互之間的位置誤差所引起的機(jī)床運動誤差，是數(shù)控機(jī)床幾何誤差產(chǎn)生的主要原因。

4、切削負(fù)荷造成工藝系統(tǒng)變形所導(dǎo)致的誤差：包括機(jī)床、刀具、工件和夾具變形所導(dǎo)致的誤差。這種誤差又稱為“讓刀”，它造成加工零件的形狀畸變，尤其當(dāng)加工薄壁工件或使用細(xì)長刀具時，這一誤差更為嚴(yán)重。

5、機(jī)床的振動誤差：在切削加工時，數(shù)控機(jī)床由于工藝的柔性和工序的多變，其運行狀態(tài)有更大的可能性落入不穩(wěn)定區(qū)域，從而激起強(qiáng)烈的顫振。導(dǎo)致加工工件的表面質(zhì)量惡化和幾何形狀誤差。

數(shù)控機(jī)床的系統(tǒng)誤差是機(jī)床本身固有的誤差，具有可重復(fù)性。數(shù)控機(jī)床的幾何誤差是其主要組成部分，也具有可重復(fù)性。利用該特性，可對其進(jìn)行“離線測量”，可采用“離線檢測——開環(huán)補(bǔ)償”的技術(shù)來加以修正和補(bǔ)償，使其減小，達(dá)到機(jī)床精度強(qiáng)化的目的。

隨機(jī)誤差具有隨機(jī)性，必須采用“在線檢測——閉環(huán)補(bǔ)償”的方法來消除隨機(jī)誤差對機(jī)床加工精度的影響，該方法對測量儀器、測量環(huán)境要求嚴(yán)格，所以難于推廣應(yīng)用。所以在誤差處理的道路上還必須走更多的路，找到更好更適合的處理方法。

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